首页 业界 适配12英寸半导体增长需求,高频科技以超纯工艺助力高端制造

适配12英寸半导体增长需求,高频科技以超纯工艺助力高端制造

受AI及高端芯片需求驱动,全球12英寸晶圆产能扩张提速。据国际半导体产业协会(SEMI)预测,2026年全球12英寸硅片需求将突破1000万片/月,中国大陆地区需求量超300万片。市场扩张为本土供应链企业带来广阔机遇,而超纯水作为芯片制造不可或缺的“工业血液”,其供应能力与水质纯度直接影响产能及产品良率。高频科技作为聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,凭借“超纯水质”与“高效节水”等核心优势,为高端芯片制造提供全方位保障。

超纯工艺,满足半导体生产“芯”需求

芯片制造对超纯水的纯度要求堪称“苛刻”,其电阻率需高达18.2MΩ·cm,且对水体中的溶解离子、总有机碳(TOC)、颗粒物及微生物等杂质的容忍度极低。任何微小的污染物都可能导致芯片电路短路、性能下降或直接失效。随着制程工艺不断向14纳米、7纳米乃至更先进节点演进,对超纯水水质的要求也日益严苛。

高频科技经过多年持续研发投入与工艺探索,其所设计研发的超纯水系统涉及超过18项专业处理工艺环节、8次增压提升,系统制备的超纯水纯度可达ppt级别,离子含量仅万亿分之一,可充分满足下游芯片客户对生产用超纯水要求。凭借这一技术实力,高频科技成为国内极少数能够在芯片领域提供超纯水系统的企业,亦是国内首家具备12英寸14纳米芯片产线超纯水制备能力的系统供应商。

高效节水,助力半导体企业降本增效

半导体制造是水资源密集型产业,巨大的耗水量对企业运营成本构成挑战。数据显示,制造8英寸晶圆每小时约耗水250立方米,而制造更先进的12英寸晶圆,每小时耗水量则高达500立方米。因此,水资源的高效利用与回收,对企业的经济效益和可持续发展至关重要。

高频科技通过双重技术路径提高水的循环利用:一方面掌握科学的纯水制备与废水处理工艺,深度去除水中杂质以满足后续用水标准;另一方面凭借前瞻性设计能力,基于对制程工艺的深刻理解规划整厂用水平衡,预留充足排水管路,可对制程机台30多道废水进行合理分流回用,并搭配适配设备及工艺实现更佳处理效果。当前,其设计的项目水平衡可实现整厂用水的制备回收率高达90%,显著降低了企业对水资源的消耗与废水排放总量,有效帮助半导体企业达成降本增效与可持续发展的双重目标。

面对12英寸半导体产能快速增长的市场需求,高频科技凭借先进的超纯工艺与节水技术,提供稳定可靠的高纯度用水保障及系统化水资源管理方案,有力支撑本土半导体企业产能扩张与可持续发展,赢得行业客户广泛认可与信赖。展望未来,高频科技将持续深耕超纯工艺研发创新,以持续可靠的解决方案响应市场增长需求,为中国高端芯片制造筑牢关键水资源保障。

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作者: 作者戴笠

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